IntelliSuite为MEMS器件设计提供完整的解决方案。IntelliSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟、利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量(场)耦合分析，以及MEMS-IC的系统级分析仿真。

制造商 IntelliSense Corp IntelliSense Corp
美国
主要功能 芯片版图设计
软件类型 商业软件
部署方式 本地部署
操作系统 Windows
当前版本 V9.1

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新软件版本可以实现更多复杂的工艺仿真，例如三维光刻工艺、晶圆级仿真等，采用level set的算法，拥有更快的计算速度。

IntelliSute IntelliSuite V9.1更新内容1

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