IntelliSute
当前全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具，提供工艺参数和器件特性间的重要联系。◆ 包含多达70余种、基于真实工艺过程得到的 MEMS 常用薄膜材料属性，使模拟结果更加精确;
◆ 允许用户添加和自定义材料;
◆ 通过 IntelliFab 模块直接将材料属性输出到 TEM 分析模块;
◆ 优化工艺;
模块说明
