IntelliSute
基于三维体素操作的强大的工艺演示工具。◆ 动画形式显示工艺过程;
◆ 模拟任意工艺步骤后器件的三维模型;
◆ 支持绝大多数 MEMS 工艺仿真，包括：各向同性/异性淀积，各向同性/异性刻蚀，湿法刻蚀，键合，光刻以及 CMOS 工艺中的氧化/注入等;
◆ 采用体素图形学技术，更加逼真的演示三维复杂器件结构;
◆ 采用体绘技术，通过旋转、平移、缩放、剖面等功能用户可以查看器件内部信息;
◆ 利用几何算法更加逼真模拟淀积和刻蚀过程;
模块说明
