软件功能集
专用于编辑MEMS版图的设计工具。
◆ 多层版图编辑功能;
◆ 可对版图进行布尔运算;
◆ 形状和拓扑学的结合;
◆ 自动生成器件结构版图;
◆ 能读取BMP,JPG,PNG等图片格式的文件;
◆ 能通过已有层按照一定的规则自动产生一系列新的单元至指定层;
◆ 对顶点数过多的多边形进行自动简化与切割;
◆ 能够绘制椭圆、弧形、不规则曲边和正弦曲线等复杂版图;
◆ 参数脚本编辑功能：改变器件参数，可以快捷、方便地修改器件结构,大大缩短设计时间;
◆ 修改或创建新的参数脚本;
◆ 使用基于单元的VBS脚本创建复杂版图;
◆ 完整的GDSII文件转化功能;
◆ 兼容业界主流文件格式GDSII,MSK,DXF;
◆ 支持DESIGN RULE CHECK;
◆ 支持对版图进行各种布尔操作，可以很方便地创建复杂的结构;
◆ 完全支持CELL层状结构;
◆ 三维结构的工艺过程预览;
◆ 提供 Measurement and dimensioning tools，可以很方便地对版图进行标注。
互动式编辑器件三维模型的强大工具。
◆ 直角坐标和极坐标格点辅助创建器件的优化模型;
◆ 对齐网格或对齐点(包括中点、交点和分割点等);
◆ 输入版图(GDS，DXF或VEC格式)优化模型;
◆ 对指定部分进行网格细分，如蛛网式、拉链式和发散式等;
◆ 兼容ANSYS、ABAQUS、PATRAN、I-DEAS格式;
◆ 能求解大规模矩阵;
◆ 方便地修改结构厚度和间隙;
◆ 自动验证网格质量与正确性;
◆ 由二维版图直接生成模型并划分成六面体网格;
◆ 自动校正不连通的网格(网格数量较少的情况下);
◆ 建立斜面网格。
