Tanner MEMS

Tanner MEMS

Tanner MEMS 是西门子 EDA 旗下面向微机电系统设计的软件流程，提供从原理图绘制、版图编辑到仿真的完整环境，支持 MEMS 传感器与执行器等器件的设计与验证。它针对 MEMS 特有的几何与工艺特点进行了优化。

主要功能

• 原理图绘制与电路仿真
• MEMS 版图编辑与参数化单元库
• 机电耦合分析与系统级仿真
• 与其他 EDA 工具集成的设计流程
• 面向 MEMS 工艺的版图验证

Tanner MEMS 将 MEMS 器件与外围电路的设计统一在同一环境中，帮助设计团队高效完成从概念到版图的开发，广泛应用于传感器、执行器与微系统产品的研发。

Tanner MEMS 将 MEMS 器件与外围电路的设计统一在同一环境中，覆盖版图、原理图与仿真环节，广泛应用于传感器、执行器与微系统产品的研发，帮助设计团队高效完成从概念设计到版图交付的完整流程，降低微系统器件的开发门槛与周期。

该流程支持参数化版图单元与曲线化几何，能够高效完成 MEMS 器件的版图绘制，并结合仿真进行机电耦合验证，提升微系统器件的一次设计成功率。