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芯片制造计算光刻

芯片制造中的计算光刻（Computational Lithography）软件是用来模拟和优化光刻过程的一类工具，广泛应用于半导体工艺中，尤其是在先进的工艺节点（如7nm、5nm、3nm等）中。随着工艺的不断缩小，传统的光刻技术面临诸多挑战，计算光刻通过引入数值仿真和优化技术来帮助设计师克服这些挑战，确保芯片能够在预定工艺条件下顺利制造。计算光刻软件的主要目标是优化光刻过程中的图形转移，以确保版图设计中的微小特征能够准确地转移到硅片上。这些工具通过模拟不同光刻参数（如光源、掩模、照射角度、曝光等）对图形的影响，从而提升制造过程的精度和良率。

芯片制造计算光刻产品

Calibre WORKbench

Calibre WORKbench是一个易于使用的环境，用于创建准确的流程模型和经过测试的、生产就绪的工具设置文件。经批准的模型和设置文件可移交给生产用户，以推动交钥匙IC布局RET处理。Calibre WORKbench软件为硅测量创建测试模式，并运行测试作业来测试和可视化模型和设置文件的输出。C...

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Calibre OPC pro提供复杂IC布局的全芯片光学和工艺校正，以提高产量和工艺自由度。Calibre OPC pro使用面向批量的流程，对布局进行更改，以补偿深亚微米制造过程中固有的光刻变形...

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Calibre Computational Lithography

Calibre Computational Lithography对集成电路（IC）永不满足的需求继续推动更小的关键尺寸。光刻工艺，包括极紫外（EUV），呈现出越来越复杂和数据量。我们的计算光刻解决方案可实现经济高效的技术支持。与先进工艺节点相关的光刻挑战和计算复杂性都要求在计算光刻软件和硬件...

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Calibre MASKOPT

Calibre MASKOPT是是一个自由开源的电子书软件套装的一部分，Calibre MASKOPT通过对断裂数据进行高级预处理来降低总放炮次数，从而降低掩模成本和掩模写入时间。Calibre MASKOPT可以在45 nm及以下的先进技术节点的数据集上实现高达20%的放炮次数减少。...

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Calibre MDPverify

Calibre MDPverify是Mentor Graphics提供的Calibre MDP工具套件的一部分，Calibre MDPverify根据原始GDSII定义检查最终掩码写入器数据，以防止使用错误数据写入掩码。它。它通过独立于断裂步骤确认最终掩模数据中是否存在所需的更改来支持设计更新的跟踪...

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Calibre MPCpro是一种针对电子束光刻和掩模蚀刻工艺引入的系统误差的解决方案，基于Calibre OPCpro技术进行光学工艺校正。Calibre MPCpro可纠正雾化、显影和蚀刻加载等工艺效应，以及ebeam邻近效应。掩膜工艺校正系列是基于规则和模型的产品，用于先进的光掩膜制造，校正系...

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Calibre nmMPC是一种用于芯片设计和验证的工具，提供了专门为电子束掩模书写器开发的优化。这个工具被广泛应用于半导体行业，用于进行芯片级别的物理验证、版图设计和芯片制造。它提供了先进的芯片级别的版图设计和验证功能，有助于工程师们确保他们的芯片设计符合规范并且能够成功制造。Calibre nm...

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Calibre OPCsbar

散射条（SBs）是放置在刻线图案边缘附近的亚分辨率、相位或铬条状特征。抗散射条（ASB）只是SBs的倒数，并嵌入到图案中。SBs和ASB改变孤立线和半孤立线航空图像的斜率，以便更好地匹配密集嵌套线的航空图像。SBs有助于在整个音高上保持足够的聚焦深度，以帮助减少像差效应和CD色散...

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Calibre OPCverify

Calibre OPCverify是Calibre nmOPC的配套OPC验证工具，是锚定下一代分辨率增强技术和制造解决方案设计的基石技术。当前的低k1光刻工艺增加了纳米设计中分辨率增强技术（RET）应用的复杂性。由于掩模规则约束、碎片、建模和计量误差等原因，这导致了更高的硅故障率。为了减少错误，在...

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Calibre nmOPC是第三代光学邻近校正（OPC）工具，它扩展了分辨率增强技术（RET）产品的口径库，用于亚65纳米（nm）工艺技术。Calibre nmOPC工具和配套的OPC验证工具Calibre OPCverify以业界最高的性能和最低的拥有成本提供了卓越的模拟精度，开创了计算光刻技术的...

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Synopsys Proteus

借助 Synopsys Proteus 系列，用户可以在邻近校正、校正模型构建以及分析对校正和未校正 IC 布局图形的邻近效应方面实现卓越的精度、效率和速度，从而彻底改变您的芯片制造工艺。Synopsys Proteus 全芯片掩模合成系列是领先的 IDM 和代工厂的首选产品，并且已经过二十年的生产...

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芯片制造计算光刻软件顾问

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