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Calibre nmOPC是第三代光学邻近校正(OPC)工具,它扩展了分辨率增强技术(RET)产品的口径库,用于亚65纳米(nm)工艺技术。Calibre nmOPC工具和配套的OPC验证工具Calibre OPCverify以业界最高的性能和最低的拥有成本提供了卓越的模拟精度,开创了计算光刻技术的新时代
制造商
Siemens Digital Industries Software 西门子数字化工业软件
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软件类型
商业软件
部署方式
本地部署
操作系统
Windows
特点与优势
1、可选择稀疏模拟和密集模拟,逐层可选
2、过程窗口优化OPC
3、利用协处理器加速的混合计算平台
4、紧凑的抗蚀建模能力
5、设计意图感知校正算法
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Calibre OPCpro
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