Calibre OPCverify

Calibre OPCverify

Calibre OPCverify 是西门子 EDA Calibre 计算光刻套件中的验证工具，用于对光学邻近效应修正（OPC）结果进行建模与验证，确保修正后的版图满足制造要求。

主要能力

• 精确建模光学修正结果及其对光刻过程的影响
• 验证 OPC 修正后的关键尺寸与图形保真度是否满足规格
• 锚定下一代分辨率增强技术与可制造性设计解决方案的基准
• 与 Calibre nmOPC 等修正工具协同，构成完整的计算光刻验证流程

适用场景

该工具是晶圆制造与光刻数据准备流程中的关键验证环节，用于确保修正结果在量产中具备足够的工艺窗口与良率，是先进工艺节点光刻数据签核的重要组成部分。

作为计算光刻验证的核心，该工具确保修正后的掩模数据在进入掩模制造前满足关键尺寸与工艺窗口要求，从而降低掩模返工与良率损失风险。其验证能力覆盖全芯片修正结果，可定位不满足规格的区域，是光刻数据签核中不可或缺的一环。

厂商信息

该产品由西门子数字化工业软件提供，其前身为 Mentor Graphics，属于西门子 EDA 的 Calibre 计算光刻产品线。