Calibre OPCverify是Calibre nmOPC的配套OPC验证工具，是锚定下一代分辨率增强技术和制造解决方案设计的基石技术。当前的低k1光刻工艺增加了纳米设计中分辨率增强技术（RET）应用的复杂性。由于掩模规则约束、碎片、建模和计量误差等原因，这导致了更高的硅故障率。为了减少错误，在将设计发送给掩模或晶圆制造商之前，需要一个OPC后验证步骤来检测故障。

制造商 Siemens Digital Industries Software 西门子数字工业软件 Siemens Digital Industries Software 西门子数字工业软件
德国 > 慕尼黑
主要功能 芯片制造计算光刻
软件类型 商业软件
部署方式 本地部署
操作系统 Windows

icon产品特点

1、先进工艺条件下的精确晶圆轮廓模拟，包括浸没式光刻

2、支持多种OPC使用模式，包括OPC配方验证、掩码签署、岩性友好设计、VT5和光学

3、用于CD错误、间距错误、桥接和挤压检查以及两层检查的预定义和自定义脚本

4、易于定制并集成到现有流程中

5、Calibre Hierarchy polygon processing engine为所有岩性模拟提供了单一、精确的建模基础

6、高处理可扩展性确保了掩模操作的必要周转时间

7、没有专用硬件；在所有领先平台上运行

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