上海冉修科技有限公司 更新时间:2025-04-29
Calibre MDPmerge能够实现从物理验证和分辨率增强技术(RET)到完成掩模数据准备的连续流程。Calibre Break以VSB11格式生成单独的图案文件,优化了最快的掩模写入和严格的CD控制后,Calibre MDPmerge为整个芯片组装了一个工作平台Calibre MDPmerge通过简化书写顺序优化流程,同时对邻近效应进行精确校正。Calibre MDPmerge基于Calibre分层几何处理引擎,采用并行处理技术,提供快速处理速度和输出优化,以实现高效的掩模写入。
主软件
Calibre MDPmerge
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