Calibre Mask Data Preparation (MDP)

Calibre MDPmerge能够实现从物理验证和分辨率增强技术（RET）到完成掩模数据准备的连续流程。Calibre Break以VSB11格式生成单独的图案文件，优化了最快的掩模写入和严格的CD控制后，Calibre MDPmerge为整个芯片组装了一个工作平台Calibre MDPmerge通过简化书写顺序优化流程，同时对邻近效应进行精确校正。Calibre MDPmerge基于Calibre分层几何处理引擎，采用并行处理技术，提供快速处理速度和输出优化，以实现高效的掩模写入。