格创东智EAP设备自动化系统,基于SECS/GEM标准及实践经验设计实施,兼容多种协议,与MES、FDC、RMS等系统集成,实现机台参数、状态、Recipe、物料信息、在制品信息的全面控制及追溯,实现实时采集、动态设备监控及反向指令控制功能,助力生产自动化,为生产智能化提供有效支撑,帮助工厂提高设备稼动率、生产效率和产品良率,降低生产成本。适用于半导体行业及高端精密制造行业。
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格创东智设备自动化系统EAP
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