格创东智设备自动化系统EAP

格创东智EAP设备自动化系统，基于SECS/GEM标准及实践经验设计实施，兼容多种协议，与MES、FDC、RMS等系统集成，实现机台参数、状态、Recipe、物料信息、在制品信息的全面控制及追溯，实现实时采集、动态设备监控及反向指令控制功能，助力生产自动化，为生产智能化提供有效支撑，帮助工厂提高设备稼动率、生产效率和产品良率，降低生产成本。适用于半导体行业及高端精密制造行业。