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Calibre MASKOPT是是一个自由开源的电子书软件套装的一部分,Calibre MASKOPT通过对断裂数据进行高级预处理来降低总放炮次数,从而降低掩模成本和掩模写入时间。Calibre MASKOPT可以在45 nm及以下的先进技术节点的数据集上实现高达20%的放炮次数减少。
1、在不降低掩模质量的情况下简化并减少OPC后数据量
2、在45nm及以下的数据集上,放炮次数较多可减少20%
3、将小数字计数较多减少50%
4、减少掩码写入时间
5、更低的掩码写入成本
6、减少屏蔽数据量
7、利用集成的掩模数据准备流程提高生产效率主要产品功能
8、移除OPC后掩模数据中的过度点动
9、包括所有流行面具作家的翻译人员
10、接受GDSII和Oasis输入数据
11、与Calibre工具套件完全集成