散射条（SBs）是放置在刻线图案边缘附近的亚分辨率、相位或铬条状特征。抗散射条（ASB）只是SBs的倒数，并嵌入到图案中。SBs和ASB改变孤立线和半孤立线航空图像的斜率，以便更好地匹配密集嵌套线的航空图像。SBs有助于在整个音高上保持足够的聚焦深度，以帮助减少像差效应和CD色散

制造商 Siemens Digital Industries Software 西门子数字工业软件 Siemens Digital Industries Software 西门子数字工业软件
德国 > 慕尼黑
主要功能 芯片制造计算光刻
软件类型 商业软件
授权形式 订阅
部署方式 本地部署
操作系统 Windows

icon产品说明

Calibre OPCsbar可以添加、模拟和验证SBs，同时保留设计层次结构。用户可以使用Calibre OPCsbar或自定义Calibre脚本实现SBs。Calibre OPCsbar有一个复杂的、基于优先级的“清理”选项，可以帮助决定重叠时保留哪些SBs。

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