Calibre nmOPC是第三代光学邻近校正（OPC）工具，它扩展了分辨率增强技术（RET）产品的口径库，用于亚65纳米（nm）工艺技术。Calibre nmOPC工具和配套的OPC验证工具Calibre OPCverify以业界最高的性能和最低的拥有成本提供了卓越的模拟精度，开创了计算光刻技术的新时代

制造商 Siemens Digital Industries Software 西门子数字工业软件 Siemens Digital Industries Software 西门子数字工业软件
德国 > 慕尼黑
主要功能 芯片制造计算光刻
软件类型 商业软件
部署方式 本地部署
操作系统 Windows

icon产品特点

1、可选择稀疏模拟和密集模拟，逐层可选

2、过程窗口优化OPC

3、利用协处理器加速的混合计算平台

4、紧凑的抗蚀建模能力

5、设计意图感知校正算法

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