模拟区熔法（Floating Zone process，FZ）生长工艺的仿真模块，可对区熔法生长的超纯单晶硅工艺过程进行模拟。超纯单晶硅广泛用于大功率器件、电力汽车、高铁等设备。

功能特点:
1、区熔法工艺条件设置
2、熔区受力分析
3、熔体全局热场计算
4、准稳态与逆向动态模拟
5、感应加热器设置
6、各向异性热应力计算
7、点缺陷浓度计算
8、掺杂物组分传输计算
9、熔体、晶体内掺杂物浓度预测FEMAG 晶体生长多物理场仿真软件 FEMAG、FZ 区熔法晶体生长仿真模块

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