模拟物理气相传输法(Physical Vapor Transport process,PVT)晶体生长工艺的仿真模块,可分析SiC、AlN、ZnO等晶体的PVT法生长,为热场设计、炉体组件优化、工艺质量分析等提供可靠的解决方案,在半导体、太阳能光伏等领域具有广泛应用。
功能特点:
1、支持半透明辐射传热
2、支持感应加热分析
3、准确的气体流动计算模型
4、支持多种气体进、出口模式设置
5、支持不同宏单元之间的传热系数的计算
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模拟物理气相传输法(Physical Vapor Transport process,PVT)晶体生长工艺的仿真模块,可分析SiC、AlN、ZnO等晶体的PVT法生长,为热场设计、炉体组件优化、工艺质量分析等提供可靠的解决方案,在半导体、太阳能光伏等领域具有广泛应用。
功能特点:
1、支持半透明辐射传热
2、支持感应加热分析
3、准确的气体流动计算模型
4、支持多种气体进、出口模式设置
5、支持不同宏单元之间的传热系数的计算