模拟提拉法(CZochralski method,CZ)晶体生长工艺的仿真模块,可对整个提拉生长过程,包括引晶、缩颈、转肩、等径生长、收尾等各个生长阶段所涉及的物理问题进行模拟分析,广泛用于半导体/太阳能光伏单晶硅、单晶锗以及小尺寸蓝宝石等晶体生长的仿真应用。
功能特点:
1、炉体全局热场分析
2、固液界面形状与位置计算
3、固液界面温度梯度计算
4、考虑时间参量的动态分析
5、熔体、气体对流计算
6、辐射传热计算
7、加热器功率预测
8、氧/碳含量预测
9、各向异性热应力计算
10、点缺陷浓度分析
11、连续提拉生长模拟
12、考虑磁场的三维多场计算
13、熔体、晶体内掺杂物浓度预测
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