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基于严格的耦合波分析方法,Lumerical RCWA通过为周期性和多层结构提供光散射的快速仿真,对Lumerical FDTD和STACK的功能进行补充。
从捕获电场和磁场分布,到每个光栅阶次的功率透射、反射,RCWA可对具有表面图案的复杂多层堆栈进行快速仿真。
STACK Analytic求解器比直接仿真Maxwell方程的速度要快得多。
理想适用于薄膜应用的快速原型设计从获取微腔效应和干涉到处理偶极子照明和平面波函数,STACK可提供复杂薄膜多层堆叠的快速仿真。
使用多系数模型在大波长范围内进行准确的材料建模。根据样本数据自动生成模型,或自定义函数。
FDTD的CAD环境和可参数化仿真对象支持对2D和3D模型进行快速模型迭代。
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