DFCD-MultiFLOW基于有限体积法、压力基的多物理场流动进行仿真计算。DFCD-MultiFLOW求解器使用最先进的数值程序及最先进的物理模型,对宽广的复杂工业流动领域提供强大的多物理场求解。流体求解器包括专门应用到一些具体领域的几个模块。DFCD-MultiFLOW求解器包括下列模块:流体力学,传热/辐射,湍流,化学,电化学,生物化学,自由表面(VOF),喷雾/颗粒,气蚀,两相流,电磁,等离子,结构动力学。DFCD-MultiFLOW最著名的功能是对刻蚀机低温等离子体的流动仿真。
包括以下主要软件模块:
1. 等离子/半导体工艺过程的数值仿真;
2. 流体力学/空气动力学;
3. 化学反应、湍流、喷雾/颗粒、传热/辐射、电化学、生物化学、自由表面(VOF) 、气蚀、两相流、电磁、电学、磁学、波尔兹曼动力学和结构动力学的数值仿真模;
上述模块紧密集成在DFCD-MultiFLOW体系下,可以高效执行,包括并行处理,动态内存使用和数据管理。