Calibre LFD 工具可捕获设计对制造工艺窗口效应的响应,使工程师能够在流片之前识别和修复可变性、可靠性和制造良率问题。Calibre LFD 工具提供了一个虚拟晶圆厂,可预测“制造时”光刻工艺的可变性对设计的影响。
1.识别制造工艺窗口中的缺陷
在 DRC 清洁设计中准确识别工艺窗口条件下的特定制造故障和良率抑制因素。
2.减少过程可变性以优化性能
通过精确计算的制造感知型设计可变性指数指导设计权衡决策,以降低产品布局对过程可变性的敏感性。
3.先进的机器学习技术缩短了运行时间
集成的高级机器学习技术可产生准确的结果,并显著改善运行时间。