eTCAD是建立在半导体物理基础之上的数值仿真工具,可以对不同工艺条件进行仿真,也可以对不同器件进行设计和优化,对电路性能和器件的电学特性进行模拟。eTCAD包含建模、剖分(支持有限差分法和有限体积法)、仿真和可视化等工具组件,基于python脚本语言可以自由组件各种仿真场景的用户自动化平台,支持各种CMOS工艺器件模型。
1.脚本自动化
通过Python脚本实现器件建模、剖分、仿真和可视化显示一整套流程。
2.建模
Python接口直接搭建Region区域,丰富的器件模板,灵活搭建不同的半导体器件三维模型。支持CMOS工艺器件建模。
3.剖分
支持有限差分网格(FDM),直观,理论成熟,应用于不规则区域,对区域连续性要求严格,易于编程,易于运行。同时支持Gauss和Erf掺杂。
4.仿真
采用有限差分法和Gummel迭代等数值算法,求解以泊松方程和电流连续性方程为核心的漂移扩散模型,包括迁移率、产生复合等半导体器件物理模型,可以精确仿真各类器件。
5.可视化
利用ParaView三维可视化工具,可以查看格点的静电势、载流子浓度等三维分布图,通过eVisual工具可以显示比较IV特性曲线。支持三维载流子浓度显示和Plot图。