CoventorWare 位移应力与动力分析的MEMS力学

在MEMS制造过程中，沉积和刻蚀过程中的热循环会在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计人员能够通过建模各向同性、各向异性和包括共形沉积在内的复杂几何形状的应力梯度来预测残余应力的3D影响。

微加工残余应力建模

CoventorWare专注于MEMS设计考虑，提供了独特的能力来模拟由微制造引起的残余应力

MEMS结构中的残余应力可以表现为一般的各向异性或各向同性预应力、层合层CTE的差异以及多复合结构中不同的应力梯度。残余应力可能导致偏离预期的设备响应，结构变形，甚至是由于总体屈曲导致的设备失效。CoventorWare可以用来为MEMS设计中的这个关键组件建模。CoventorWare能够代表一系列残余应力配置，能够准确预测静态和动态设备响应。

高级预应力条件建模

与宏观尺度的应用不同，大多数MEMS结构的薄膜性质要求精确分辨由制造引起的残余应力松弛引起的变形。

再加上CoventorMP在MEMS应用中固有的大纵横比特性(如保形沉积)建模方面的独特能力，CoventorWare提供了高级预应力条件的精确建模。

该图展示了施加预应力的应力xx矢量图，包括通过具有保形沉积特征的复合锚结构的梯度剖面：