CoventorWare 致动器和测辐射热计的电热机械物理

CoventorWare是设计微辐射热计的理想环境，为了模拟传感器的完整运行，需要分析多个耦合的物理域，包括热、机械和电域。它提供了一个完全耦合的热电过程来分析这类问题，并采用了非常适合模拟这类器件常见的薄膜的有限元。

解决模拟微辐射热计的复杂数值挑战

CoventorWare提供了一个完全耦合的电热-机械求解器，采用有限元有效地模拟在该应用中使用的多材料复合薄膜。

多耦合物理域

模拟MEMS微测辐射热计的完整运行需要分析多个耦合物理域，包括热、机械和电行为域。

Microfabricated复合组件

MEMS微测辐射热计通常由多种材料组成，而这些材料的材料特性截然不同。材料的特性包括从电导体到电介质，从绝缘体到热导体，以及具有不同热膨胀系数和先进残余应力分布的材料。

高纵横比结构

层压薄膜通过精心设计的悬浮液附着在多种材料的共形沉积锚点上。

多个模拟域

为了准确地描述微辐射热计的特性，稳态、频率和时域模拟都是必需的。

CoventorWare用于电热机械分析

将CoventorWare的布局和过程驱动的方法与其多功能求解器相结合，可以满足微辐射热计设计的所有要求，实现在单一、统一的环境中进行快速设计探索。CoventorWare中模拟的基本设计特性包括热导G，时间常数τ，总热容C，电阻R，电压-温度关系V-T，电流-电压(I-V)曲线，以及完整传感器对入射辐射应用的操作时间响应。