

北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月,以北京中科信电子装备有限公司(成立于2003年)和中国电子科技集团公司第四十八研究所(成立于1964年)离子注入机业务战略整合而成,是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地,在长沙设有分公司。
北京烁科中科信电子装备有限公司是国内唯一一家产品门类齐全,集研发、制造、服务于一体化的集成电路领域离子注入机供应商,公司的目标是将来成为国际一流的集成电路装备供应商和服务商。为进一步提升企业技术创新能力,推进企业发展,烁科中科信决定牵手思普软件,引进SIPM/PLM产品研发管理系统。
通过本次项目,烁科中科信将建设起符合企业管理模式的标准化、模块化技术管理平台,全面提升企业产品创新能力和项目管理能力,稳固企业长远发展战略基础。
【企业背景】

北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月,以北京中科信电子装备有限公司(成立于2003年)和中国电子科技集团公司第四十八研究所(成立于1964年)离子注入机业务战略整合而成,是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地,在长沙设有分公司。
烁科中科信离子注入机已形成中束流、大束流和高能机三大系列产品,先后建成90nm,55nm,40nm,28nm工艺生产线,正在迭代14nm工艺,构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系。经过多年的技术积累,公司建立并完善了知识产权体系和集设计、研发、制造、调试与服务为一体的研制体系,实现了离子注入机这一集成电路制造核心关键设备在28nm以上工艺领域的自主可控,具备进口替代能力,以及年产30台套离子注入机的规模生产能力。
公司先后承担“十五”863计划集成电路制造装备重大专项“100nm大角度离子注入机”项目、“十一五”国家02重大专项“90-65nm中束流离子注入机研发及产业化”项目、“十二五”国家02重大专项“45-22nm低能大束流离子注入机研发及产业化”项目,取得了一系列重要成果。目前公司产品已进入国内最先进的集成电路生产线,实现大规模量产。公司产品聚焦集成电路主要应用领域,兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域,形成中束流、大束流、高能机、定制机、化合物半导体等系列化离子注入机产品系列。
公司离子注入机团队近200人,硕士以上学历占43%。公司已申请近400项发明专利,获得授权68项,具备高新技术企业、博士后科研工作站等资质。
北京烁科中科信电子装备有限公司是国内唯一一家产品门类齐全,集研发、制造、服务于一体化的集成电路领域离子注入机供应商,公司的目标是将来成为国际一流的集成电路装备供应商和服务商。