设备软件-半导体设备软件平台SEPlat 功能模块

实现基于远程命令的半自动生产控制与设备监控功能

在GEMConnect基础上,满足工厂全自动化生产场景下的生产控制与设备监控功能

与工厂产线EAP系统以及数据服务系统进行通信,为工厂收集设备的大量、高速数据提供收集通道

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