产品定位
Calibre LFD 是西门子 Calibre 可制造性设计(DFM)系列中的光刻友好设计工具,用于分析版图设计对制造效果的响应,帮助工程师在流片前修复热点、可变性和可靠性问题。该工具以工艺变化(PV)带预测设计对光刻工艺窗口的响应,识别并评估潜在的制造失效,引导设计人员创建更稳健的集成电路版图,降低工艺变化带来的影响。
核心功能模块
虚拟晶圆厂制造影响预测
Calibre LFD 与 Calibre ML-SFD 工具共同提供虚拟晶圆厂能力,可预测版图在流片后经历光刻工艺可变性时的表现,在设计阶段即可评估制造过程的影响,减少试产与流片阶段的返工风险。
工艺窗口缺陷识别
在 DRC-Clean 设计中,该工具能够在整个工艺窗口条件下准确识别特定的制造故障与产量抑制剂,通过检测铜堆积等热点问题定位影响晶圆与芯片良率的薄弱环节,避免规则检查虽通过但制造仍失效的情形。
制造感知设计权衡
工具提供精确计算的制造感知型设计可变性指数,量化版图对工艺变化的敏感程度,据此指导设计权衡决策,降低产品布局对过程可变性的影响,在性能、面积与良率之间取得更优平衡。
机器学习加速
Calibre ML-LFD 采用监督式机器学习流程,通过深度神经网络回归算法在版图中定位并预测潜在热点,在保持精度的同时替代计算密集的 OPC 模型与规则运算,显著缩短运行时间并支持大规模版图分析。
与 Calibre 平台集成
作为 Calibre 设计制造一体化流程的组成部分,LFD 可与 Calibre 系列其他签核工具协同使用,将制造感知分析嵌入现有物理验证与 DFM 流程,支持从单元级到全芯片规模的良率分析。