CAMTEK

　　自动缺陷分类 （ADC）

　　Camtek的ADC是基于更先进的机器学习技术的高级基于图像的自动分类解决方案。该软件将学习功能与生产稳定性和程序相结合，在保持生产质量要求的同时支持学习曲线。

　　ADC 包括：

　　用于持续再培训的内置设置工具

　　审查和资格认证环境

　　灵活的分类引擎结构

　　优势

　　提高数据质量以实现更好的数据分析优化操作员时间数据标准化，保持更严格的生产指标学习系统 - 能够随着时间的推移优化数据灵活的基于图像的环境，更大限度地提高分类可能性

　　指南针

　　Compass 是一款基于 KLARF 的强大分析工具，旨在帮助您分析和可视化缺陷检测结果，以提高生产率和产量。

　　Compass 提供了一个自动警报系统，可以实时识别不符合生产规格范围的值，例如每个晶圆/批次的缺陷过多，并触发包含电子邮件通知通知的警报。

　　Compass配备了一系列功能，使用户能够查看和显示在线检测生成的标准数据文件。

　　功能

　　向下钻取图 - 允许用户根据各种缺陷属性选择和显示当前数据集的子集。快速分类功能 - 允许用户手动对所有缺陷进行排序，并根据缺陷图像对其进行重新分类。模具区域分析仪 - 允许用户根据缺陷的相对模具位置对缺陷进行分类。缺陷添加器分析仪可识别扩散到后续工艺步骤的缺陷。聚类分析器 - 根据用户定义的聚类规则识别缺陷聚类并对其进行分类。光罩中继器分析仪 - 识别并分类多个模具或光罩中相同相对位置的缺陷。层中继器分析仪 - 识别和分类多个晶圆中相同相对位置的缺陷

　　手动缺陷分类

　　Camtek的手动缺陷分类提供了一个全面的分类环境，包括三个基本要素：

　　分类客户端

　　查看客户端

　　管理客户端

　　提供这种环境的第一阶段是开发分类站，这是一种高生产率工具，为用户提供高效的分类过程工作环境，从而显着提高产量管理能力。

　　轻松的配方管理

　　单个客户端工作站可以为同一站点上安装的多个系统提供服务用户友好的界面促进决策按优先级进行过滤和排序功能，以实现高效的字负载管理支持缺陷级别 （SPC） 和/或模具级别 （OQC） 分类连接到数百种经过验证的报告格式