OptiLayer 可以根据各种类型的直接或者间接单色光监测仪生产相应的监控电子表格。简便的图形界面和一系列辅助选项能够帮助镀膜工程师选择合适的监控波长。当某一个波长被选定后,相应的监控等级,信号极值,波动和终止条件在电子表格内会实时更新。
为某一膜系生成监控电子表格是一项需要实际经验的复杂任务。为了最小化监控波长个数,结合单色光监控方法方面的多年经验,OptiLayer 突破性的引进了一个极具创新性的选项来自动生成监控电子表单。这个新选项赋予了监控表格如下能力:
• 考虑到沉积过程中监控波长变换次数最少;
• 满足指定输入输出信号波动值;
• 满足给定信号的振幅条件(最大最小值之差);
• 满足从触发点开始到下一个拐点之间的间距条件;
监控表单自动生成器还带有一个辅助功能,就是检查生成的表格是否包含错误监控条件。
OptiLayer 建议利用其它功能,比如基于最敏感波长点监控策略或者最小化厚度误差累计效应的监控策略,来实现自动生成监控电子表格。