OptiChar 模块是为基于分光光度计或者椭偏仪测量数据的膜层光学特性分析而精心准备的。测量数据来自于各种光谱仪和椭偏仪(如 Agilent Cary, Perkin Elmer, Woollam 等)以及双列数据文件和任何能够导入到 OptiChar 的 ASCII 文件。
OptiChar 提供了基于专门数学方法的各种灵活特性分析选项。其方便友好的用户界面甚至能够让初学者很容易的进行特性分析,并从中获得详细可靠的信息。
使用 OptiChar 可描述下列薄膜的特性:
• 电介质膜
• 金属膜
• 金属-电介质复合膜
• ITO, TCO 膜
• 各种混合膜OptiChar 提供了一套模型集,包括吸收和无吸收膜的模型,与各种常用波长对应的折射率和消光系数。根据薄膜光学参数的先验知识,可以限定这些参数的范围。当输入的测量数据有略微改变或者存在好的薄膜参数近似值 , 膜 层 优 化 ( Layer Refinement)选项可以帮助进一步优化结果。OptiChar 是唯一提供独特的折射率和消光系数非参数化模型的特性分析软件。当光学常数无法由简单模型给出时,这种非参数化模型就显得非常有用。它还能够用在金属薄膜,金属电介质复合膜,ITO 膜等的特性分析上。当在宽光谱范围内进行特性分析,应该应用这种模型。程序中的体不均匀性(Bulk Inhomogeneity) 和面不均匀性(Surface Inhomogeneity)这两个选项用来研究折射率和薄膜厚度的相关性。最简单的情况就是,找到体不均匀性和表面覆盖物厚度的相关程度。另外也可以更精确的研究其它光学参数与厚度之间的相关性。
Porosity 和 Mixture 选项允许在等效介质理论框架下研究薄膜。Porosity 用来设置膜层堆积密度,Mixture 帮助找到膜层材料的混合比。
在分析椭偏特性时,可以引入退偏因子。它为使用从未经过特殊准备的样片获得的测量数据提供了可能。
OptiChar 不仅能分析薄膜特性,还能用来分析基底。基底特性(Substrate Characterization)选项为其特性分析提供了与薄膜一样的模型集。
总损耗图表(100%-R-T)帮助判定膜内吸收情况和评估测量数据的准确性。
在同一张图表内,可以对由特性分析得到的光学常数和设计目录中的常数进行比较。你也可以将这些常数保存到膜层材料数据库中,以备后用。
部分偏离图给出了试验数据和模型数据之间的偏差。它们在椭偏特性分析时特别有用,因为在宽角度范围内 Delta 量会有明显的不同。OptiChar 能够灵活操作测量数据集。Modify Measurement 和 Add to loaded 选项能将不同的数据文件合并到一起 。 Preprocess Measurements Data 选项可以将转换后的数据加载到内存,例如去除可疑光谱范围内的数据,减少样点数,设置容差及归一化数据(相对于基底)。