OptiRE 是为利用分光光度计/椭偏仪测量数据进行光学反演而开发的。由 Agilent Cary, Perkin Elmer, Woollam, Horiba 等公司仪器测量得到的数据能够方便的导入到 OptiRE。它还能够分析薄膜制备过程中由单色光检测和宽光谱检测两种方法得到的在线数据,前者通过 Response Data 项输入,后者通过 Multi-Scan 项输入。
工程反演是现代化设计-制造链的重要组成部分,它为沉积过程提供了反馈信息。OptiRE 的主要目的是为了发现膜层沉积造成的薄膜参数系统和随机误差,从而提升工艺水平。
Systematic Errors 项能够帮助找到膜厚的系统误差。这个结果以修正因子(correction factors)的形式给出,它是相对于每个特定材料的理论厚度而言的。它对时间监控,石英晶体监控或者间接光学监控等方法的校准是很方便的。Indices Correction 主要是用来校正膜层的名义折射率(理论值)。由于各种原因,多层膜系中的薄膜折射率与单层膜的折射率不一样,而后者则是设计时所用的折射率。Indices Correction 能找到实际折射率与名义值之间的偏差,该值以定常漂移量(offsets)或者随厚度呈线性和指数漂移的形式给出。当怀疑折射率色散行为正确性时,就需要给定膜层折射率模型,而相关的参数则是由工程反演得到。
Random Errors 选项实现了膜厚随机误差的搜索。这是一个多参量反求解问题,因此它的解是不唯一的。OptiRE 的特殊算法使你能获得可靠的结果。
Quasi-Random Errors 项结合了系统误差和随机误差的特征。这些算法考虑了各个材料膜厚误差之间的可能相关性。
在某些情况下,考虑膜层不均匀性是绝对必要的。因为如果忽略了相关影响,会降低反演的精确度。OptiRE 可以对其进行研究分析。
OptiRE 高级选项允许同时搜索膜厚误差,膜层折射率误差和不均匀度。它可以用在最复杂的反演问题上。
所有分光光度计在校正之后,其测量数据都存在一定程度的漂移。为了修正与此相关的可能误差,OptiRE 可以启动特殊的自动校准程序。
OptiRE 反演结果以图表及相应的电子表格形式给出。它们也能以报告形式给出,并且可以保存或者导出到 Microsoft Excel 软件。这些结果可以是膜厚误差,修正后的折射率和消光系数,不均匀度,试验数据与模型数据的匹配结果等。
OptiRE 能 够 灵 活 操 作 测 量 数 据 集 。 Modify Measurement,Add to loaded 及 Preprocess Measurements Data 选项能够合并不同数据文件,转换测量数据,去除不要需的数据,减少样点数,设置容差及归一化数据。
OptiRE 支持软件自动化(Automation)技术,这使得它能够被集成到生产控制软件中,实现在线控制。
可以从任何其它程序调用 OptiRE 并返回处理结果。唯一的要求就是,所用的开发工具必须支持 COM 自动化,如 Visual Basic, Visual Basic for Applications, Visual C++, C#, Embarcadero C++, Delphi, LabVIEW 等。
OptiLayer 软件包中带有 Visual Basic, Delphi 和 LabView 开发实例,它能够帮助薄膜工程师将 OptiRE 应用到自己的设计-制造链中。