PathWave WaferPro Express 2025 Update 1.0 发布,强化晶圆在片测量自动化

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是德科技于 2026 年 3 月发布 PathWave WaferPro Express 2025 Update 1.0。WaferPro Express 是半导体晶圆在片测量程序软件,用于对晶体管和电路元件等半导体器件执行自动化晶圆级测量,提供面向多种仪器和晶圆探针台的开箱即用驱动与测试例程,是晶圆级测量解决方案(WMS)的关键软件组件。

主要增强

2025 Update 1.0 引入全新的设备/测试选择图形界面,提升测试计划配置效率;支持 A-LFNA 2026 Update 1.0,覆盖低频噪声分析最新版本;增强 HDF5 文件支持,改善数据存储与交换;新增 FormFactor Velox 驱动以支持 GPIB 和电动定位器,并支持 MPI SENTIO 探针台与卡盘驱动器的 socket 连接,强化探针台控制与自动化能力。

自动化测量能力

软件提供开箱即用的测试算法和仪器驱动,降低软件学习曲线,加速测量系统搭建与首次测量;现代化的直观界面可快速连接仪器并定义测试计划;与 Cascade Microtech Nucleus 和 WinCal XE 软件集成,实现无缝探针台控制和自动化射频校准;与 Cascade Microtech Velox 2 控制软件深度集成,通过 WaferSync 接口实现完整晶圆图同步和测试计划执行期间的射频校准自动监控。

数据分析与扩展

提供数据展示(Data Display)、晶圆图数据查看器(Wafer Mapping Data Viewer)和 SQL 数据库等高级工具,提升生产效率;通过 Python 编程环境提供强大的自定义能力,满足复杂晶圆级测试计划的定制需求。

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