近日，上海菁富信息技术有限公司（以下简称“上海菁富”）与北京北方华创微电子装备有限公司（以下简称“北方华创”）正式达成战略合作，双方将围绕ADAMS多体动力学仿真软件在微电子装备研发中的应用展开深度合作。此次合作标志着上海菁富在半导体高端装备仿真领域迈出重要一步，同时也将为北方华创的精密设备研发提供强有力的数字化支持。
强强联合，共拓仿真技术新边界
作为国内领先的工业仿真软件及技术服务提供商，上海菁富在CAE（计算机辅助工程）领域拥有丰富的行业经验，尤其在复杂机械系统仿真、结构优化及数字孪生技术应用方面具备独特优势。ADAMS作为全球知名的多体动力学仿真软件，能够精确模拟机械系统在真实工况下的运动学、动力学行为，帮助工程师优化设计、减少物理样机测试成本，并显著提升产品性能与可靠性。
北方华创是中国领先的半导体装备制造商，产品包括刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备等，广泛应用于集成电路、先进封装、LED、光伏等领域。公司以技术创新为核心驱动力，致力于为全球客户提供高性能的半导体装备及服务。此次引入ADAMS仿真软件，北方华创将能够更高效地模拟和分析关键机械组件（如精密运动平台、真空腔体传动机构等）的动态特性，从而优化设计、减少振动干扰，并提升设备的整体性能与寿命。
ADAMS仿真软件助力精密装备研发
ADAMS作为专业的多体动力学仿真软件，能够精确模拟机械系统在复杂工况下的运动学和动力学特性。在半导体设备研发中，该软件可帮助工程师在虚拟环境中验证设计，减少物理样机测试，显著缩短研发周期。
北方华创作为国内半导体装备制造龙头企业，其刻蚀设备、薄膜沉积设备等产品对运动精度和稳定性要求极高。通过引入ADAMS软件，研发团队能够：
对精密运动平台进行动力学仿真，优化运动控制性能
分析关键部件的振动特性，提高设备运行稳定性
预测机械系统磨损情况，延长设备使用寿命
合作亮点：从仿真到智能制造的全面赋能
1、高精度运动仿真，加速研发迭代
借助ADAMS软件，北方华创可对设备中的高速运动部件（如机械臂、线性模组等）进行多体动力学仿真，提前预测可能出现的共振、磨损或定位偏差问题，从而在设计阶段进行针对性优化，大幅缩短研发周期。
2、振动分析与抑制，提升设备稳定性
半导体制造设备对振动极为敏感，微米级振动可能导致晶圆加工精度下降。通过ADAMS的频域分析和模态仿真，北方华创能够精准识别振动源，并优化结构设计或控制算法，确保设备在高速运行下的稳定性。
3、数字孪生技术，赋能智能制造
双方还将探索ADAMS与数字孪生技术的结合，构建虚拟调试平台，实现设备运行状态的实时仿真与预测性维护，为北方华创的智能化生产提供数据支撑。
