Calibre OPCverify

Calibre OPCverify是Calibre nmOPC的配套OPC验证工具，是锚定下一代分辨率增强技术和制造解决方案设计的基石技术。当前的低k1光刻工艺增加了纳米设计中分辨率增强技术（RET）应用的复杂性。由于掩模规则约束、碎片、建模和计量误差等原因，这导致了更高的硅故障率。为了减少错误，在将设计发送给掩模或晶圆制造商之前，需要一个OPC后验证步骤来检测故障。