格创东智G-EAS设备自动化系统

半导体制造为什么需要设备自动化 半导体制造是公认的工业制造"皇冠上的明珠"。一条先进制程产线涉及数百台设备，光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗——每个环节的工艺参数稍有偏差，就可能带来整批晶圆的良率损失。在这种精度要求下，人工逐台操作设备...