关于 PathWave WaferPro Express
WaferPro Express 是是德科技(Keysight)专为高效执行自动化晶圆级测量而设计的软件平台,可对晶体管、电路元件等半导体器件进行自动晶圆级测量。软件驱动是德科技(及部分非是德科技)仪器与探针台控制软件(含温度控制),并提供强大的数据处理与显示能力,显著降低晶圆级测量系统的复杂度,简化测试方案的设置与执行。
核心能力
- 完备的测量算法与驱动:内置全套测试算法与仪器驱动(支持 S 参数、噪声系数、增益压缩、双音互调失真等),并兼容 IC-CAP 测试例程导入,缩短学习曲线、加快系统搭建,更快获得首次测量结果。
- 直观界面与探针台集成:现代化界面便于快速连接仪器并制定测试计划;与 Cascade Microtech 的 Nucleus、WinCal XE 集成,实现无缝的探针台控制与自动射频校准。
- WaferSync 双向联动:与 Cascade Microtech Velox 2.0 探针台控制软件独家整合,通过 WaferSync 接口实现完整晶圆映射同步(对齐、位点与芯片信息);测试方案执行期间自动监测射频校准稳定性,失准时暂停并通知用户。
- 大数据处理与定制:Data Display、Wafer Mapping Data Viewer 与 SQL 数据库等工具显著提升大批量数据处理效率;Python/PEL 编程环境可定制测试算法并分析测量数据,并支持部分测试方案重跑。
- 低频噪声平台:WaferPro Express 是先进低频噪声分析仪(A-LFNA)的正式软件平台,新增 A-LFNA 测量模块,可对整片晶圆的器件噪声进行精确、可重复的采集。
系统定位
软件是与 Cascade Microtech 联合的晶圆级测量解决方案(WMS)的关键组成,配合 Keysight 验证衬底(KVS)对新装系统做出厂级验证;广泛应用于 R&D 团队的器件建模、工艺监控、可靠性与元件表征等需要在不同温度下采集大批量数据的场景。