1、通过将掩模布局数据连接到计量和检查系统，提高测量过程的效率和可靠性

2、通过连接Calibre分析程序来改进工作流程

3、通过代码重用简化应用程序开发

4、从基本任务快速定制计量应用程序

5、在计量应用中保持一致性并尽量减少冗余

6、面向对象的iTCL类和函数，用于良好的接口设计和现有计量程序的专门修改

7、使用来自布局的数据驱动制造机器

8、专用功能支持提取和验证合适的口罩计量位置

9、轻松融入现有流程

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