Pegasus CMP Predictor和Synopsys Yield Explorer有什么区别

Cadence Pegasus®™ CMP Predictor 可预测整个层堆栈的化学和机械抛光 (CMP) 变化及其对设计的潜在影响。它将制造工艺变化的不确定性转化为可预测的影响，然后在虚拟填充定义和设计阶段将这些影响降至最低，从而大大提高整体设计性能和产量。Pegasus CMP 传统上用于芯片级，也因其独特的基于块的方法而适用于 IP 级，并因其先进的晶圆级建模和预测而适用于晶圆级。Pegasus CMP 为整个堆栈提供晶圆级、全芯片、多层厚度和形貌预测，涵盖 FEOL、MOL 和 BEOL 沉积、蚀刻和平坦化工艺。

Yield Explorer 将物理设计流程、晶圆制造和晶圆及芯片级检测等不同来源的相关良率数据集中到一个单独的数据库。作为 Synopsys TetraMAX 诊断解决方案的补充，Yield Explorer 及时解决了当今产品工程设计团队面临的复杂难题。用户可以使用尽可能广泛的数据，从而能够在面对系统局限因素时执行无可匹敌的根本原因分析。现在很容易就能将 ATE 测试 结果一边与晶圆参数数据相关联，一边与 DRC 标记或时钟分配相关联。