Calibre WORKbench

Calibre WORKbench

Calibre WORKbench 是西门子 EDA Calibre 计算光刻套件中的环境工具，为工艺工程师提供易用的模型创建与工具配置文件管理环境，用于运行光学邻近效应修正应用并查看其结果。

主要能力

• 提供用户界面，用于运行光学修正应用并查看结果
• 创建准确的工艺模型与经过测试、可用于生产的工具配置文件
• 降低 OPC 流程的部署与调优门槛，提升工程师工作效率
• 与 Calibre nmOPC、OPCverify 等工具协同，构成统一的计算光刻环境

适用场景

该工具面向光刻与工艺工程团队，通过集中化的模型与配置管理提升计算光刻流程的部署效率与一致性，帮助团队更快地建立可用于生产的光学修正环境，并降低流程部署与调优的复杂度。

通过统一的模型与配置管理，该环境帮助工艺团队在多个工具与流程之间保持参数一致，减少因配置差异导致的修正结果偏差，并支持对修正结果的交互式查看与调试。

厂商信息

该产品由西门子数字化工业软件提供，其前身为 Mentor Graphics，属于西门子 EDA 的 Calibre 计算光刻产品线。