超高精度的微小曲面轮廓扫描传感器
•分辨率最高可达10 nm
•测量范围300 µm 到10 mm
•测头精度0.1µm 到3µm
•不受产品表面颜色、材质、反射率、透明度影响,不受外界光源环境影响。
•采用白光共焦原理(基于白光波长的偏差,而不是光强
典型应用:
•微小曲面的拓扑图
•可用于测量透明、反光、漫反射表面的产品
•可用于测量玻璃厚度。
超高精度的微小曲面轮廓扫描传感器
•分辨率最高可达10 nm
•测量范围300 µm 到10 mm
•测头精度0.1µm 到3µm
•不受产品表面颜色、材质、反射率、透明度影响,不受外界光源环境影响。
•采用白光共焦原理(基于白光波长的偏差,而不是光强
典型应用:
•微小曲面的拓扑图
•可用于测量透明、反光、漫反射表面的产品
•可用于测量玻璃厚度。