这个工具可设计镀膜制程,包含机器配置编辑器以及跑单生成器。
1、机器配置编辑器
机器配置中贮存了特定镀膜机的详细设置,监控系统,入射角,材料,监控芯片,加工因子(包含随光源损耗变化的动态加工因子)。
2、Runsheet
使用者可使用跑单生成器对既定的机器配置,进行镀膜设计的监控规划。该工具除了可同时具备光学与晶体监控功能外,还具备诸如动态加工因子和系统带宽等高级特性。
•对反射、背向反射和透射监控计算光学信号
•当膜层沉积时,动态加工因子(Dynamic Tooling Factors)可以不同
•使用偏移和放大控制可以使信号数据缩小或放大到用户自定义范围
•对每一膜层,监控波长、带宽、监控光谱、晶控或光控都可以用户自定义
•在镀膜的任何阶段,监控芯片可以更换
•多种配套的格式输出
•提供图片和表格的监测数据可以输出到用户自定义报告格式