· 相移和空间载波干涉图分析
· 手动和自动掩膜(光圈,遮光)
· 峰 谷 (PV), RMS, ISO 10110-5
· 泽尼克、赛德尔、XY 多项式
· 斜率分析
· 参考减法和高斯,中值,尖峰滤波器
· 质量控制,平均和均方根重复性测试
· 插件模块:曲率半径,角度分析
软件供应商和服务商
· 相移和空间载波干涉图分析
· 手动和自动掩膜(光圈,遮光)
· 峰 谷 (PV), RMS, ISO 10110-5
· 泽尼克、赛德尔、XY 多项式
· 斜率分析
· 参考减法和高斯,中值,尖峰滤波器
· 质量控制,平均和均方根重复性测试
· 插件模块:曲率半径,角度分析