如何将Klayout Cell动态导入Lumerical Multiphysics

在本例中，演示了如何将KLayout Library Cell动态导入 Lumerical 以执行设计扫描和表征。该功能支持动态导入到Lumerical FDTD、MODE以及Multiphysics的所有工具，包括CHARGE、HEAT、FEEM、MQW、DGTD。本例适用于：

NOTE：建议使用指定版本的 KLayout，因为并非所有版本的 KLayout 都受支持和测试。此外，Linux部分的支持尚未经过充分测试和支持，请谨慎使用。

步骤1：在KLayout中安装Lum PDK

Lum PDK是KLayout PDK用于演示工作流程的一个示例，任何具有相关技术和库的KLayout PDK都可以在此流程中工作。

下载并解压包，将Lum文件夹复制到：

• On Windows: C:Users\KLayoutsalt

• On Linux: /home//.klayout/salt

通过打开 KLayout 并检查Lum technology和Lum library是否可用，用于检查Lum PDK是否已在KLayout中注册。

步骤2：运行步骤

Notes：必须关闭Safe mode才能运行工作流程。

第1步：运行脚本

1.确保klayoutintegrationgui.lsfx和klayoutgetgeometry.lsfx位于同一目录中。

2.打开 FDTD、MODE或Multiphysics并运行 klayoutintegrationgui.lsfx，在script prompt下使用 feval 命令。

> feval(“/path/to/klayoutintegrationgui.lsfx”);

第2步：完成wizard

1.查找并选择KLayout可执行文件。

2.查找并选择process文件，可以在LumtechLum_process_file.lbr下找到。确保process文件包含并定义在library cell’s layout中找到的层。点击“Next”后，工作流程从KLayout 中提取数据，这可能需要长达 10 秒的时间才能完成。请注意，可能会弹出命令行窗口，请忽略该窗口。

3.选择要导入的library cell，library cells按::::管理。

4.检查cell参数和仿真设置：根据需要设置cell参数。如果仿真设置部分是可用的，请确保正确指定“Light injection layer”和“Port layer”，并在运行仿真之前验证设置。

• FDTD 模拟区域位于“Light injection layer”的z轴中心

• ports是根据“Port layer”上找到的矩形生成的

点击“Next”后，工作流程从KLayout中提取cell几何形状和参数，这可能需要长达 10 秒的时间才能完成。然后，生成器件几何形状和模拟区域。请注意，可能会弹出命令行窗口，请忽略该窗口。

5.导入结构：在FDTD和MODE中，一旦导入cell结构，就会在“Object Tree”中生成带有设置脚本的分析组。在Multiphysics中导入cell结构后，设置脚本将包含在“Object Tree”的“model”组中。

在 FDTD 中，分析组和设置脚本的如下信息允许修改：

• 反映在其结构中的Cell参数

• FDTD仿真区域

• Port结构

• Layer定义

在MODE和Multiphysics中，分析/模型组和设置脚本的如下信息允许修改：

• 反映在其结构中的Cell参数

步骤3：参数扫描

可以进行参数扫描用来表征器件。

1.在“Optimizations and Sweeps”选项卡中，添加扫描

2.设置参数进行扫描。如下所示，分析组中定义的参数在“Properties”下可用：

3.运行扫描。一旦完成结果，将可用于可视化。