傅里叶模态法

摘要
 
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。

傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
 
建模任务

单次FMM仿真结果

参数扫描(1D)

参数扫描(2D)


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