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功能分类 MES/MOM制造运营管理 - - -
产品简介

设备软件-半导体设备软件平台SEPlat是基于半导体设备通信、控制和集成的软件平台。该软件平台为满足半导体设备供应商工厂产线自动化生产的需要,而提供的一套技术解决方案和软件框架。SEPlat实现了SEMI标准的SECS/GEM和GEM300标准集,满足半导体行业工厂/设备的全自动化生产控制功能;并通过EDA标准接口,可实现与EAP、SCADA(或IIoT)、MES等工厂控制和信息系统的集成。

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制造商上海鼎格信息科技有限公司 - - -
原产地上海 - - -
授权方式 永久授权 - - -
发布时间2023年 - - -
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注:软件功能配置信息仅供参考,实际功能配置信息以真实软件为准,解释权归软件制造商所有。