设备软件-半导体设备软件平台SEPlat

设备软件-半导体设备软件平台SEPlat是基于半导体设备通信、控制和集成的软件平台。该软件平台为满足半导体设备供应商工厂产线自动化生产的需要，而提供的一套技术解决方案和软件框架。SEPlat实现了SEMI标准的SECS/GEM和GEM300标准集，满足半导体行业工厂/设备的全自动化生产控制功能；并通过EDA标准接口，可实现与EAP、SCADA（或IIoT）、MES等工厂控制和信息系统的集成。